Date：2025-06-25 Number：720
高密度互連軟硬結(jié)合板集成了剛性板的穩(wěn)定性與柔性板的可彎折性，其微孔加工質(zhì)量直接影響電氣性能、信號傳輸及整體可靠性。為實現(xiàn)微孔的高精度、高質(zhì)量加工，多種技術(shù)應(yīng)運而生，不同加工技術(shù)在原理、適用性和優(yōu)缺點上各有差異，需根據(jù)實際需求合理選擇。
激光加工技術(shù)憑借非接觸式加工優(yōu)勢，在微孔加工中應(yīng)用廣泛。它利用高能激光束瞬間作用于板材，使材料蒸發(fā)或汽化形成微孔。該技術(shù)加工精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)極小的孔徑，且加工過程中無機械應(yīng)力，對剛性和柔性材料都有良好的適應(yīng)性，尤其適合加工復(fù)雜形狀的微孔。在軟硬結(jié)合板的柔性區(qū)域，激光加工不會因機械力導(dǎo)致材料變形或分層。不過，激光加工產(chǎn)生的高溫可能會使孔壁產(chǎn)生炭化、殘渣等問題，需要后續(xù)進行專門的清潔處理，以確?？妆谫|(zhì)量和電鍍效果。
等離子體蝕刻技術(shù)基于等離子體與材料的化學反應(yīng)實現(xiàn)微孔加工。等離子體中的活性粒子與板材表面材料發(fā)生反應(yīng)，逐層去除材料從而形成微孔。這種方法加工的微孔側(cè)壁垂直度高、表面光滑，能有效減少孔壁粗糙度帶來的信號損耗，對提升高密度互連軟硬結(jié)合板的電氣性能有顯著作用。但等離子體蝕刻技術(shù)設(shè)備成本高，加工效率相對較低，且對工藝參數(shù)控制要求極為嚴格，微小的參數(shù)波動都可能影響蝕刻效果，在大規(guī)模生產(chǎn)中需要更高的工藝管控能力。
機械鉆孔技術(shù)作為傳統(tǒng)加工方式，通過高速旋轉(zhuǎn)的微小鉆頭對板材進行切削來形成微孔。其優(yōu)勢在于設(shè)備成本較低，加工效率高，適合加工孔徑較大的微孔。對于剛性材料組成的部分，機械鉆孔能夠保證較高的加工精度和孔壁質(zhì)量。然而，在加工高密度、微小孔徑的微孔時，鉆頭容易磨損和折斷，且加工過程中產(chǎn)生的機械力可能導(dǎo)致軟硬結(jié)合板的柔性區(qū)域出現(xiàn)分層、撕裂等問題，同時孔壁粗糙度較大，不利于后續(xù)的電鍍和電氣連接。
化學蝕刻技術(shù)利用蝕刻液與板材材料的化學反應(yīng)溶解去除材料，從而形成微孔。該方法能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的蝕刻效果，對于一些對精度要求不是極高但需要大面積加工微孔的場景較為適用?；瘜W蝕刻加工過程相對溫和，不會對軟硬結(jié)合板造成機械損傷，適合柔性材料部分的加工。但化學蝕刻的加工精度有限，難以實現(xiàn)高精度、高深寬比的微孔加工，且蝕刻液的處理和回收存在環(huán)保問題，需要配套的處理設(shè)施。
高密度互連軟硬結(jié)合板的微孔加工技術(shù)各有優(yōu)劣，激光加工的高精度、等離子體蝕刻的高質(zhì)量孔壁、機械鉆孔的高效低成本以及化學蝕刻的溫和加工特性，為不同需求提供了多樣化選擇。在實際生產(chǎn)中，通常會結(jié)合多種技術(shù)，取長補短，以滿足高密度互連軟硬結(jié)合板對微孔加工在精度、質(zhì)量和效率等方面的綜合要求。
